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單工具解決方案，在一次掃描(miao)中結合了四種光學(xue)檢測技術，可在自動缺陷檢測和分(fen)類中獲得高效率
滿(man)足多個行業要(yao)求(qiu)，包括(kuo)HBLED，高功率射頻(pin)電子和玻璃顯示技術
2英寸晶(jing)圓的(de)吞吐量高達40wph，8英寸晶(jing)圓的(de)吞吐量高達20wph
用于多種材料的(de)30多個DOI缺陷分類的(de)高級算法
快速，全晶圓粗糙度監測和(he)表面(mian)均(jun)勻度映(ying)射
KLA-Tencor Candela CS20系列光學表面分析儀(yi)（OSA）對半(ban)導體和(he)光電(dian)材(cai)料進行高級表面檢測。CS20系列提(ti)(ti)供了過程(cheng)控制并提(ti)(ti)高了產量，可用于檢查不透明(ming)的基(ji)板（例(li)如Si，GaAs和(he)InP）以及透明(ming)的材(cai)料（例(li)如SiC，GaN，藍寶石和(he)玻璃）。
CS20系(xi)列(lie)采用OSA技術來同時測(ce)量散射(she)(she)(she)(she)強度，形貌變(bian)化，表(biao)面(mian)反射(she)(she)(she)(she)率和(he)(he)相移(yi)，以(yi)自動檢測(ce)和(he)(he)分類不(bu)斷增加的關注缺陷（DOI）庫。OSA檢查技術結合了散射(she)(she)(she)(she)測(ce)定(ding)法，橢圓測(ce)定(ding)法，反射(she)(she)(she)(she)測(ce)定(ding)法和(he)(he)光學輪廓測(ce)定(ding)法的基本原理，以(yi)無損檢查晶片表(biao)面(mian)的殘(can)留污染，表(biao)面(mian)和(he)(he)亞表(biao)面(mian)缺陷，形貌變(bian)化和(he)(he)膜厚(hou)均勻性。CS20系(xi)列(lie)的高靈(ling)敏(min)度，高通量和(he)(he)多(duo)功能性提供了一種經濟高效的解決方案，適(shi)用于過程開(kai)發和(he)(he)制(zhi)造過程控制(zhi)。
CandelaOSA系(xi)統： 鏡(jing)面（反射(she)光）
相移
地形
散射光
激光二極(ji)管： CS20R-8mW，635nm紅(hong)色激光
CS20v-25mW，405nm紫激光
CS20-雙路25mW，405nm X射線
4通道顯微鏡技(ji)術可用于缺陷分析(xi)和識別關鍵任(ren)務缺陷（DOI）
顯示的缺陷(xian)包括：SiC三角形缺陷(xian)，藍(lan)寶石襯底劃痕(hen)，SiC多型缺陷(xian)，晶片邊緣劃痕(hen)和GaN外延(yan)坑
自動缺陷分類軟件可為(wei)DOI分類提供配(pei)方(fang)創建
高通(tong)量掃描分析可提供摘要報告，包括缺陷圖，日志(zhi)文件和自動通(tong)過/失敗分配
缺陷按大小分(fen)類(lei)(lei)并歸(gui)類(lei)(lei)為用戶(hu)定義(yi)的類(lei)(lei)別，并顯示在Candela缺陷圖上
