美國KLA-Tencor公司為美資半導體(芯片)設備供貨商,公司總部在美國硅谷,擁有 6000 多名員工,自1976年成立以來不斷致力于產品研究與發展,客戶提供更完善更人性化服務,并協助半導體(芯片)廠商創造高品質、高效率的產品,目前分公司遍布美洲、歐洲、亞洲等國家。KLA-Tencor 始終致力于幫助其客戶降低運營成本并增加收益,并已經成為其堅定不移的長期合作伙伴。
KLA-Tencor主要產品:
CS20光學表面分析儀
WaferSight PWG已圖案晶圓幾何形狀測量系統
LMS IPRO6 光罩圖案位置測量系統
K-T Analyzer 9.0數據分析系統
2920 系列寬波等離子圖案晶圓缺陷檢測系統
Puma 9850 激光掃描圖案晶圓缺陷檢測系統
Surfscan SP5 無圖案晶圓缺陷
Teron SL650 光罩檢測系統
處理(li)450mm硅(gui)片的Surfscan SP3系統