美國(guo)aBeam Technologies提(ti)供多(duo)種產品來改進半(ban)導(dao)體(ti)(ti)制造(zao)和納米(mi)制造(zao)。我們的(de)產品用于(yu)模擬和優化(hua)納米(mi)光(guang)刻、計量(liang)(liang)、掩(yan)模和缺陷檢測。它們還用于(yu)半(ban)導(dao)體(ti)(ti)設(she)備(bei)(bei)的(de)設(she)計和優化(hua)。此外(wai)，該公司還銷(xiao)售電子束(shu)圖案發生器，并(bing)提(ti)供頂級(ji)納米(mi)制造(zao)。我們的(de)客戶(hu)是(shi)半(ban)導(dao)體(ti)(ti)工(gong)廠、設(she)備(bei)(bei)制造(zao)商以(yi)及研發實驗(yan)室(shi)和大學。aBeam Technologies總部位于(yu)美國(guo)加(jia)利福尼亞(ya)州。半(ban)導(dao)體(ti)(ti)設(she)備(bei)(bei)價(jia)格昂貴。有(you)機會提(ti)高工(gong)具質量(liang)(liang)、提(ti)高過程質量(liang)(liang)或為下一(yi)代延長(chang)其生命周期，使我們的(de)軟(ruan)件獲得了更(geng)大的(de)回報(bao)。
aBeam Technologies的(de)(de)(de)研究人員與(yu)勞倫(lun)斯伯克利國(guo)家實驗室和(he)阿貢國(guo)家實驗室合作，開(kai)發了一(yi)種制造(zao)線(xian)(xian)寬降至1.5納米(mi)的(de)(de)(de)測(ce)(ce)試圖案(an)的(de)(de)(de)技(ji)術。設(she)計的(de)(de)(de)圖案(an)包含數千條(tiao)線(xian)(xian)條(tiao)，線(xian)(xian)條(tiao)寬度準確(que)設(she)計；這(zhe)些線(xian)(xian)以這(zhe)樣一(yi)種方(fang)式組(zu)合，即線(xian)(xian)寬的(de)(de)(de)分布在(zai)任何位置看(kan)起來都是隨(sui)機(ji)(ji)的(de)(de)(de)。這(zhe)種偽隨(sui)機(ji)(ji)測(ce)(ce)試模式允許在(zai)納米(mi)氣象系統的(de)(de)(de)整個(ge)動(dong)態范圍內對其進(jin)行表征。
ABeam Technologies主(zhu)要產品：
軟件
模式生成器
光學平臺
光束消隱器
光子集成器
主要型號：
TRAVIT EBL、DISPLACE、TEMPTATION、SCATT、TRAVIT Dry Etch、XeDraw、XPG-2、XENOS XeMove、XeSwitch
