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產品介紹
OTFC系列(lie)是用于(yu)生產紅外截(jie)止濾光片、分(fen)色濾光片等成膜的真空鍍膜裝置。
性能特點
- 真空室尺寸：Φ600-1800mm
- 60點/80點式光學膜厚監控
- 使用均勻分布的高離子電流密度的離子源
- 搭載雙電子槍，多點和環型坩堝可鍍100層以上
- 利用自動蒸鍍控制系統實現全自動蒸鍍過程
- 工件架可選擇鐘罩式或行星式
- 排氣系統可選擇擴散泵+低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
技術參數
產地：日本
真空(kong)室：SUS304, φ900mm×1300mm (H)
工件架：φ 790mm
工件架轉速：10 rpm to 30 rpm (可變)
光學(xue)膜厚控制(zhi)：HOM2-R-VIS350A光學(xue)膜厚監控儀
波長范圍(wei)350nm到1100nm
反射式/透射式可選
水晶式(shi)膜厚計XTC/3+6點式(shi)水晶傳感(gan)器
蒸發源：電子槍2套
離(li)子(zi)源：10cm RF 離(li)子(zi)源
排(pai)氣(qi)系統：機械泵(beng)+1個擴散(san)泵(beng)+Polycold（或1個冷凝泵(beng)）
達到壓力：7.0 × 10-5 Pa 以(yi)下(xia)
基板溫度：350℃
設備尺寸：4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.
電(dian)源(yuan)：3相,200v,50/60Hz, 約(yue)80KVA
水流量(liang)：80升(sheng)/分以(yi)上(shang)
空氣壓力：0.5MPa 以上(shang)
重量：約(yue)5400kg
產品參數
