VT750是用于生產、質量檢驗(yan)和(he)計量實驗(yan)室環境的干涉(she)儀塔。此(ci)外,還提供“tower only”版本“B”,用于集成現有或第三方干涉(she)儀單元,或配備ZYGO Verifire和(he)ZYGO MX條(tiao)紋分析軟件的版本“Z”。該(gai)系(xi)統可以(yi)(yi)配備PC桌、2個屏幕、鼠標和(he)鍵盤,也(ye)可以(yi)(yi)配備內置PC和(he)觸(chu)摸面(mian)板,以(yi)(yi)優化操作(zuo)并更(geng)大限(xian)度地減少生產環境中(zhong)的空(kong)間需求。
VT750 ST:配備XONOX X-fiz 100(4英寸)/X-fiz 130(5.2英寸),帶10倍光學變焦(jiao)和(he)靜(jing)態條(tiao)紋分析(xi)系(xi)統(tong)XONOX“X-fringe ST”
VT750 PS2:配備XONOX X-fiz 100(4英寸(cun))/X-fiz 130(5.2英寸(cun)),帶10倍光學(xue)變焦,相移條紋分析系統XONOX“X-frige²”和(he)壓電移相器XONOX”X-phase PMR“
VT750 Z:帶ZYGO Verifire 4“或6”干涉儀單元和Mx相移條紋分析
VT750 B:用于(yu)集成現有干涉儀單元的“tower only”版本。
可選(xuan)配XONOX條紋分析系統(tong)X-fringe²ST或(huo)帶X相(xiang)PMR移相(xiang)器的X-fridge²PS。
產地:美國
行(xing)程范圍:max.750mm(800mm線性(xing)刻度范圍)
測試直徑(jing):max.200mm(取決于使用(yong)的TS和零(ling)件(jian)支(zhi)架)
測量系(xi)統(tong)(tong):帶(dai)PC接口和溫度擴展補償功能的增量高精度線性測量系(xi)統(tong)(tong)(標準)/可選(xuan)激光放電(dian)測量系(xi)統(tong)(tong)(可選(xuan))
測量精度:20°C時(shi)每(mei)500mm高達+/-0.7μm
分辨(bian)率:高達(da)0.1µm(標準(zhun)0.5µm)
尺寸(cun)(寬x深(shen)x高):800 x 900 x 2100 mm
(如果使用PC進(jin)行(xing)條紋分析,則(ze)需要額外的空間,XONOX PC臺可選)
連接:10-240V/50-60Hz
壓縮空氣:6bar
重量:約500kg
顏色:淺灰(hui)色RAL 7035