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產品介紹
COMPex準分子(zi)激光(guang)器是效(xiao)率高的(de)光(guang)源，具(ju)有(you)緊(jin)湊的(de)設計和(he)(he)(he)易于安裝和(he)(he)(he)操作的(de)特點。它(ta)們在(zai)要求苛(ke)刻的(de)應用中提供更佳(jia)的(de)結果，如固體(ti)取(qu)樣(yang)系統（LA-ICPMS）、材料研究（PLD）和(he)(he)(he)準確的(de)材料處理。COMPex具(ju)有(you)陶瓷預電離(li)功能，可(ke)提供高達100毫(hao)焦耳的(de)輸出，以及脈(mo)沖上脈(mo)沖穩定(ding)性。COMPex還配備了一個改進的(de)氣體(ti)處理器，可(ke)以延長氣體(ti)和(he)(he)(he)光(guang)學壽命。
性能特點
- 選擇157 nm、193 nm、248 nm、308 nm和351 nm波長，實現全材料柔性
- 高達750 mJ的更好的脈沖能量，可在大視場下進行有效消融
- 75%的脈沖穩定性，均方根值，確保高通量控制
- 基礎脈沖控制和系統參數記錄，提供智能和可復制的薄膜
技術參數
產地：美國
波長：193 nm
脈沖(chong)能(neng)量：100 mJ
重復頻率：max.50 Hz
平均功率：4 W
能量穩定性（1西(xi)格瑪）：≤0.75%
脈沖(chong)持續時間（FWHM）：典型值20 ns
橫梁尺寸（V x H，FWHM）：典型值14 x 5 mm2
光束發散（V x H，FWHM）：典型值2 x 1 mrad2
光束指向穩定性（1 sigma）：≤50µrad
水冷(leng)：≤5升/分(fen)鐘（1.3加侖/分(fen)鐘），10至20°C
連接(jie)：1/2“
重量：280公斤(jin)（617磅）
尺(chi)寸（長x寬x高）：1258 x 375 x 813 mm³
（50 x 15 x 32 in.³）
產品尺寸
產品應用
PLD–脈沖激光沉積
薄晶圓加工
激光剝離
LA-ICP-MS
產品參數
