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Inprentus可為EUV應用(yong)提供定(ding)制的主(zhu)光(guang)柵(zha)，在(zai)這些應用(yong)中(zhong)，優化光(guang)學效率、儀(yi)器緊湊性和(he)性能是下一代(dai)處理實驗室(shi)的任務。Inprentus 能夠利用(yong)高可變線間距 (VLS) 制造具有(you)強聚(ju)焦能力(li)的衍(yan)(yan)射光(guang)柵(zha)。這使得光(guang)斑尺寸更小，工作波長(chang)(chang)的光(guang)線更明亮。衍(yan)(yan)射光(guang)柵(zha)可在(zai)設計波長(chang)(chang)內外使用(yong)，具有(you)多種尺寸和(he)規格，可實現緊湊型儀(yi)器設計和(he)升級。Inprentus 還(huan)與客戶(hu)密(mi)切合作，在(zai)光(guang)柵(zha)母版(ban)中(zhong)提供定(ding)制的熾(chi)熱角，以便在(zai)現有(you)儀(yi)器或下一代(dai)儀(yi)器升級中(zhong)實現直接替換。
現(xian)代化的衍射光柵機械固定(ding)方法
效率高和聚焦效果好
利用高可變線間(jian)距(ju)（VLS）制造具有強聚焦能力的衍射光柵
優化減小光斑尺寸
可(ke)在設(she)計波長(chang)內外使(shi)用(yong)
實現(xian)緊湊型儀(yi)器設(she)計和升級(ji)
提供定制的熾熱角
產地：美國
熾熱角：0.1° 到 80° 不(bu)等(deng)
VLS - 可變(bian)線間距 (VLS)
埃(ai)(ai)歇爾(er)光(guang)柵類型：埃(ai)(ai)歇爾(er)光(guang)柵
判(pan)讀(du)：在凹面(mian)、環面(mian)、橢圓面(mian)等曲(qu)面(mian)基(ji)底上進行
分辨率：超過 100,000（取決于其他規格(ge)）
基底和涂(tu)層(ceng)：高損傷閾值(zhi)
尺寸： 500 x 200 毫米
線(xian)密度：50 到 3000 升/毫(hao)米
表(biao)面(mian)：硅(gui)或熔融石英(ying)基底的(de)鍍金（Au）
單色儀、反射儀、散射儀等，光發射光譜、X 射線(xian)和紫外線(xian)衍射光學(xue)(xue)以及(ji)各(ge)種(zhong)激光光學(xue)(xue)應(ying)用。
