掃(sao)(sao)描(miao)雙(shuang)軸(zhou)（傾斜）MEMS反(fan)射(she)鏡（或“微反(fan)射(she)鏡”）是(shi)一(yi)種光束(shu)控制（或2D光學掃(sao)(sao)描(miao)）技術(shu)，在(zai)許多行(xing)業中使(shi)用(yong)。與(yu)(yu)競爭產(chan)品(pin)相(xiang)比，Mirrorcle Technologies股份有限公司tip-timeMEMS反(fan)射(she)鏡有幾(ji)個(ge)主要(yao)優勢。基于ARI-MEMS制造技術(shu)的(de)無(wu)萬(wan)向(xiang)節雙(shuang)軸(zhou)掃(sao)(sao)描(miao)微鏡設備(bei)起初(chu)是(shi)通(tong)過位(wei)于加(jia)利福尼亞州伯克利的(de)亞得里亞海研究(jiu)所(suo)（“ARI”）基于ARI-MEM制造技術(shu)的(de)研究(jiu)項目開發的(de)，無(wu)萬(wan)向(xiang)節雙(shuang)軸(zhou)掃(sao)(sao)描(miao)微鏡設備(bei)在(zai)超低(di)(di)功率環境中運行(xing)，并(bing)在(zai)兩軸(zhou)上提(ti)供非常快速(su)的(de)光束(shu)掃(sao)(sao)描(miao)。該設備(bei)使(shi)激光束(shu)在(zai)兩個(ge)軸(zhou)上高(gao)速(su)偏轉至高(gao)達32°的(de)光學掃(sao)(sao)描(miao)角(jiao)。與(yu)(yu)現有的(de)大型電流計(ji)光學掃(sao)(sao)描(miao)儀相(xiang)比，我(wo)們的(de)設備(bei)所(suo)需(xu)的(de)驅動功率要(yao)低(di)(di)幾(ji)個(ge)數(shu)量級。我(wo)們的(de)靜電執(zhi)行(xing)器(qi)的(de)連續(xu)全速(su)操作消耗(hao)的(de)功率不到幾(ji)毫瓦。

MirrorcleTech器件完(wan)全由單晶(jing)硅(gui)制成(cheng)，具(ju)有好的(de)可重復性和(he)可靠性。光學平面和(he)光滑(hua)的(de)反(fan)射鏡(jing)上涂有一層(ceng)具(ju)有所需反(fan)射率(lv)的(de)薄膜。更大的(de)反(fan)射鏡(jing)可以(yi)結(jie)合到(dao)致動器上，用于定制孔徑(jing)尺(chi)寸。直(zhi)徑(jing)從0.8毫(hao)米(mi)到(dao)7.5毫(hao)米(mi)的(de)鏡(jing)子(zi)目前有庫存。高達9.0mm的(de)尺(chi)寸在(zai)特殊應(ying)用中得到(dao)了成(cheng)功證明。

MirrorcleTech的(de)(de)MEMS微(wei)鏡技術用(yong)(yong)途廣泛，適用(yong)(yong)于(yu)各種應用(yong)(yong)。一些器件采用(yong)(yong)某種通用(yong)(yong)的(de)(de)準靜態（點對點）性能(neng)規范制造。其(qi)他設備是高度可(ke)定制的(de)(de)，以實現特定的(de)(de)規格集，例如投影顯示器。雖然(ran)以下描述(shu)主要(yao)涉及雙軸(zhou)裝置，但也有(you)多個單軸(zhou)設計可(ke)用(yong)(yong)，包括(kuo)點對點（準靜態）和諧振(zhen)型。

Mirrorcle Technologies MEMS器件(jian)解(jie)決了需(xu)要光(guang)束控制的(de)廣泛應用。隨(sui)著(zhu)光(guang)學掃(sao)描或(huo)光(guang)束轉向出現在各種行(xing)業和眾多(duo)應用中，我們的(de)掃(sao)描鏡在那些需(xu)要微型、高速(su)、低功耗或(huo)低成本解(jie)決方案的(de)應用中most為(wei)有(you)利(li)。

• 無萬向節設計，實現超高速雙軸激光束轉向
• 點對點（準靜態）或諧振操作模式下的大角度

• MEMS反射鏡：A7M10.2-1000AL
• 帶寬：在基于LPF的驅動中為~2200Hz
• FoR：約34°x 34°關注范圍
• 波長：單個激光二極管光源：綠色（~520nm），<30mW CW功率
• 發散度（半角，平均值）：<2.5mrad
• 重復性：每個軸<0.005°
• MEMS接口：10針0.05“Samtec連接器，與所有MirrorcleMEMS控制器匹配
• 鏡子尺寸：從0.6毫米到7.5毫米不等
• 激光接口：

共享10針MEMS接口連接器

需要與(yu)掃描(miao)模塊配對(dui)的Mirrorcle MEMS控制器，以匹配激光二極管(guan)（LD）特性

• 產地：美國

• 投影顯示器
• 3D掃描
• 激光雷達成像
• 3D跟蹤和位置測量
• 激光打標和雕刻
• 自由空間光學與電信
• 生物醫學成像