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產品介紹
MicroMaster是(shi)業(ye)內通用，先進的(de)交鑰匙(chi)準分(fen)(fen)(fen)子激光微加(jia)工系統，用于研發到生(sheng)產(chan)應(ying)用。Optec的(de)MicroMaster可(ke)以(yi)配(pei)備新(xin)的(de)獨立、緊湊、短脈(mo)沖長度(du)（~6 ns）的(de)深紫外準分(fen)(fen)(fen)子激光器或大(da)幅面（外部）準分(fen)(fen)(fen)子激光器，具體取(qu)決于您的(de)應(ying)用和吞吐量需求。通過掩模投(tou)影技術，可(ke)以(yi)進行微米（μm）級的(de)微加(jia)工。MicroMaster 的(de)功(gong)能和實用性(xing)示(shi)例包括從 0.25 – 10J/Cm² 連(lian)續(xu)可(ke)變的(de)密(mi)度(du)，以(yi)適應(ying)正在加(jia)工的(de)材(cai)料，以(yi)及我(wo)們新(xin)的(de)“智能孔徑”選(xuan)項，該選(xuan)項將圓形(xing)和三角(jiao)形(xing)等固定掩模與連(lian)續(xu)可(ke)變、軟件(jian)控制的(de)電動孔徑相結合(he)，創造出(chu)無限的(de)消融(rong)形(xing)狀和尺寸組合(he)。
性能特點
- 可靠性
技術參數
- 產地：比利時
- 是否進口：是
- 波長：193或248nm
- 重復頻率：200 Hz
- 能量密度：0.05至10 J/cm2
- 特征尺寸：從5um到2mm
- 紫外線分辨率：1.5um
- 行程范圍：300x300mm
- 焦距：50mm
- 外形尺寸（高x寬x深）：1880x1010x1750mm
產品參數
