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機(ji)電(dian)大信號應變(bian)和極化測量。
壓電小信號系數和介電常數與直(zhi)流偏置電壓的關系。如果已知剛度值，則可以使用附加的aixPlorer軟件工具(ju)從這(zhe)些值得出耦合系數。
電氣(qi)和(he)機電性(xing)能疲勞。
作(zuo)為電氣薄膜測(ce)(ce)試的(de)(de)創新者，aixACCT Systems已將公認的(de)(de)雙(shuang)(shuang)光(guang)束(shu)(shu)技術擴展到可商(shang)用(yong)的(de)(de)雙(shuang)(shuang)光(guang)束(shu)(shu)激(ji)光(guang)干(gan)(gan)涉儀系統，該系統可進行(xing)長達8英(ying)寸的(de)(de)晶圓表(biao)征。用(yong)于(yu)測(ce)(ce)量d33的(de)(de)雙(shuang)(shuang)光(guang)束(shu)(shu)激(ji)光(guang)干(gan)(gan)涉儀（aixDBLI）可提(ti)供經過驗證(zheng)的(de)(de)精度（x切割石英(ying)），可達0.2 pm / V。該系統的(de)(de)主要特點(dian)是單次測(ce)(ce)量的(de)(de)采(cai)(cai)集(ji)時間極短，僅為幾秒(miao)鐘。基于(yu)新的(de)(de)數據(ju)采(cai)(cai)集(ji)算法，測(ce)(ce)量速度提(ti)高了100倍。這使得比較了以相(xiang)同激(ji)勵頻率(lv)記錄的(de)(de)薄膜的(de)(de)電氣和(he)機(ji)械數據(ju)。由于(yu)差(cha)分測(ce)(ce)量原理，消(xiao)除(chu)了樣品(pin)彎曲的(de)(de)影響，這是使用(yong)原子力顯微(wei)鏡（AFM）進行(xing)此類測(ce)(ce)量的(de)(de)主要障礙。
分(fen)辨率(lv)：1 pm通過x-cut Quartz測試
位移/應變測量：
50 Hz-5 kHz
100 mV至10 V
Max.25 V（可選）
壓電d33系數：
偏壓(ya)（1 mHz至1 Hz）：100 mV至10 V
Max.25 V（可選(xuan)）
小(xiao)信號(hao)（1 kHz至(zhi)10 kHz）：100 mV至(zhi)10 V
電(dian)致(zhi)伸縮M33：與(yu)d33相似
C（V）測量：
偏(pian)壓（1 mHz至1 Hz）：100 mV至10 V
Max.25 V（可(ke)選）
小(xiao)信號（1 kHz至(zhi)10 kHz）：100 mV至(zhi)10 V
