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快速準(zhun)確的雙面(mian)掃描系統(tong)
測量速度：2 kHz / 4 kHz / 20 kHz
在x和y方向上移動(dong)(dong)300 mm（200 mm），橫向分辨率為(wei)50 nm，電動(dong)(dong)z軸分辨率為(wei)20 nm
2D輪廓(kuo)，3D地形圖和3D厚度圖
掃描范圍大
x，y，z分辨率，行(xing)程為max.300 mm（200 mm）
零件厚度max.80 mm
彩色白光傳感器
高分辨率離軸相機
CT 350T是一款非(fei)接(jie)觸式雙面(mian)(mian)光學輪廓儀，具有300毫米x，y掃描臺。頂部(bu)和底(di)部(bu)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)安裝在(zai)行程為100 mm的高精度(du)(du)Z軸上(shang)。雙面(mian)(mian)自動(dong)對(dui)焦功能甚(shen)至可(ke)以測量嚴重彎曲(qu)或(huo)(huo)彎曲(qu)的零(ling)件。兩個(ge)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)均收集與(yu)x，y編碼器(qi)信號同步(bu)的高度(du)(du)數據，并(bing)軸向對(dui)齊以確保精確的差分厚(hou)度(du)(du)測量。該軟件同時(shi)從頂部(bu)和底(di)部(bu)表面(mian)(mian)生成2D輪廓和3D貼(tie)圖，并(bing)計算相應的總(zong)厚(hou)度(du)(du)輪廓或(huo)(huo)貼(tie)圖。
運動系(xi)統使用快(kuai)速，準(zhun)確(que)的(de)磁性(xing)直線電機。通過以(yi)(yi)4 kHz的(de)數據速率觸發彩色白(bai)光傳感(gan)器(qi)，可(ke)以(yi)(yi)將檢查時間更小化(hua)。通過在平(ping)臺孔上安(an)裝轉接(jie)板，該(gai)系(xi)統可(ke)以(yi)(yi)用作(zuo)標準(zhun)光學表面輪廓儀，使CT 350T成(cheng)為功能(neng)(neng)廣泛的(de)表面和(he)厚度(du)測(ce)量系(xi)統。該(gai)系(xi)統也有(you)較小的(de)版本(ben)，如CT 250T，具有(you)200 mm的(de)行程，非(fei)常適合8英寸(cun)晶圓或基板和(he)太陽能(neng)(neng)晶圓。
集成系(xi)統控(kong)制(zhi)(zhi)器(qi)：包括運動控(kong)制(zhi)(zhi)，傳感器(qi)控(kong)制(zhi)(zhi)器(qi)（4 kHz），電源，工作站的USB接(jie)口
工作站(zhan)電(dian)腦：查詢當(dang)前規格，22英(ying)寸寬屏(ping)顯示器
連接方式：以太網，DVD驅動器(qi)，USB（正面(mian)和背面(mian)），并行端口(kou)，鍵盤，鼠標，DVI和模擬(ni)視頻(pin)輸出
電源要求：100-240 V AC，50-60 Hz，2.0 A（240 V），5 A（100 V）
測(ce)量表面尺寸：300 x 300 [mm]（12 x 12 [in]）
線性編碼器分辨率
X，Y：50 nm（2μin）
Z：5 nm（0.2 µin）
橫(heng)向(xiang)分(fen)辨率(lv)：1微(wei)米（載物臺分(fen)辨率(lv)：50 nm）
X和Y的(de)行程限制（電(dian)動）：350 x 300 [mm]（13.8 x 12 [in]）
Z行程限制（電動(dong)）：100 mm (4 in)
平(ping)臺上(shang)的(de)負載：max.10 kg
可(ke)用的傳感(gan)器：共焦(jiao)白光傳感(gan)器
工作(zuo)溫度(du)：18°-20°C（64°F – 68°F）
尺寸（長X寬(kuan)X高）：1290 x 1082 x 1425 [mm]（約43 x 51 x 56 [in]）
重量：650 kg (1.433 lbs)
