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產品介紹
ALPAO可(ke)變(bian)形反(fan)射(she)鏡基于由磁致動器驅動的連續反(fan)射(she)面。它們具有大(da)行程，高動態運動和出色的光(guang)學質量(liang)，可(ke)以(yi)滿(man)足并超出您對快速準確的波前校(xiao)正的要求。
大變形
- 高達80μm的光學變形（峰谷）：校正大振幅像差。
- 高達5.0μm的光學變形（內部執行器）：校正高空間頻率像差。
高度動態的運動
- 建立時間低至500µs（+/- 10％）。
光學品質
- 有源平坦度低至7nm RMS。
產品參數
執行器數目：97
間距：0.8
光瞳直徑：7.2
直徑上(shang)的執(zhi)行器數量：11
有源平面(mian)：7 nm rms
傾(qing)斜(xie)/傾(qing)斜(xie)行(xing)程(cheng)：80 μmPV，波前(qian)
穩定(ding)時間(jian)：1.5（毫秒，+ /-10％，任何行程）
膜(mo)的第一共振：400 Hz
