產品中心
產品介紹
SUSS MicroOptics通過使用反應離子刻蝕(shi)（RIE）將所需的(de)結構轉(zhuan)移到(dao)基板上，從而(er)在硅(gui)片和(he)(he)熔融二氧化硅(gui)中以晶(jing)圓(yuan)級制(zhi)造(zao)定(ding)制(zhi)的(de)單片微光學器件。該技術可提(ti)供高分辨率和(he)(he)均勻(yun)性，并(bing)(bing)能夠(gou)合(he)并(bing)(bing)復雜的(de)形式，例如溝槽，空腔，基座，對準點和(he)(he)識別標記。組件可以鍍AR和(he)(he)/或金屬化，并(bing)(bing)以多種(zhong)格式交付。
產品參數
沒有孔的MLA：熔(rong)融石英，透鏡，四邊形
網格
間距：130um
ROC：1.218mm±5％
無增透膜
形狀：矩形
厚度：0.9mm
尺寸：15mm x 15mm±0.05mm
