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產品分類
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品牌標簽
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直接驅動，無槽，無刷伺服電機(ji)
零(ling)齒槽電機(ji)，出色的速度(du)穩定性(xing)
出色的(de)誤(wu)差運動和擺動性能(neng)
直(zhi)聯式高精(jing)度(du)旋轉(zhuan)編碼器
薄型平面設計
沒有機械接觸
Aerotech的(de)ABRS系列旋轉氣浮載物臺以超薄的(de)外形提供了角度(du)(du)定(ding)位，速度(du)(du)穩定(ding)性和誤差運(yun)動性能。ABRS旨在滿足晶(jing)圓檢(jian)查(cha)，高精度(du)(du)計量，X射(she)線衍射(she)系統，光(guang)學檢(jian)查(cha)和制造以及MEMS /納(na)米技(ji)術設(she)備制造的(de)嚴格(ge)要求。
緊湊包裝
ABRS系(xi)列直接驅動旋轉平(ping)(ping)臺的設(she)計已經(jing)過(guo)優化，可大程度地(di)減(jian)(jian)少(shao)平(ping)(ping)臺高(gao)(gao)度。平(ping)(ping)臺的低(di)矮外形降低(di)了(le)系(xi)統的有效工作高(gao)(gao)度，從而減(jian)(jian)少(shao)了(le)與“堆積”有關的錯誤。除(chu)了(le)較低(di)的總高(gao)(gao)度外，ABRS系(xi)列還提供了(le)一個通孔，可用于(yu)產品直通，激光束傳(chuan)輸，電(dian)纜間(jian)隙(xi)或特(te)定(ding)應用的要(yao)求。
機械設計
ABRS設計具(ju)有大的(de)(de)(de)空(kong)氣軸(zhou)承(cheng)表面，具(ju)有很高的(de)(de)(de)剛度和承(cheng)載能力，不(bu)僅產(chan)生(sheng)出(chu)色(se)的(de)(de)(de)軸(zhou)向和徑向誤差(cha)運動，而且產(chan)生(sheng)出(chu)色(se)的(de)(de)(de)傾斜誤差(cha)運動。所產(chan)生(sheng)的(de)(de)(de)面誤差(cha)運動明顯優(you)于其他(ta)旋轉式空(kong)氣軸(zhou)承(cheng)工作臺和主軸(zhou)，極大地受(shou)益于需要出(chu)色(se)平面性(xing)能的(de)(de)(de)應用。
無刷直驅
為了(le)更好(hao)的定位性能，ABRS系(xi)列采(cai)(cai)用(yong)了(le)Aerotech的S系(xi)列無(wu)(wu)槽(cao)無(wu)(wu)刷電(dian)(dian)機。電(dian)(dian)機采(cai)(cai)用(yong)磁路設(she)計(ji)，可產生高(gao)扭矩輸出，而(er)產生的熱量最少。無(wu)(wu)槽(cao)設(she)計(ji)本質上是零齒槽(cao)和(he)無(wu)(wu)轉矩紋波。這(zhe)使得ABRS位移臺非常適合需(xu)要低速(su)(su)或高(gao)速(su)(su)掃(sao)描速(su)(su)度的應用(yong)。
準確定位
光學編碼器是ABRS的標準配置。與Aerotech的反饋乘法器和控件(jian)配合使(shi)用時，分辨率可(ke)達到<0.03弧秒(miao)。
定制設計
定制版本的ABRS可用(yong)于費率(lv)表(biao)和(he)慣性制導試驗臺(tai)應用(yong)。
寬度：150 mm
桌面(mian)直徑：128.1 mm
高度：80 mm
孔徑：8 mm
總行程：360°連續(xu)
總線(xian)電(dian)壓：80 VDC
基(ji)本編(bian)碼(ma)器(qi)分(fen)辨率(lv)：3600行/轉
轉(zhuan)速：max.300 rpm
精度(du)：±3角秒
雙向重復性：<2弧秒
負荷
軸向：8 kg
徑向：4 kg
傾斜：3 N-m
軸(zhou)向誤(wu)差運動（同步）：<175 nm
徑向(xiang)誤差運動(dong)（同步）：<450 nm
傾(qing)斜誤差(cha)運動（同步）：<9.7 µrad（<2.0弧秒）
軸向誤差運動(dong)（異步）：<20 nm
徑向誤差運動（異(yi)步）：<20 nm
傾斜誤差運(yun)動（異步）：<0.4 µrad（<0.08弧秒）
工(gong)作壓力：80 psig（5.5 bar）+ 0 psig（0.0 bar）/-10 psig（0.7 bar）
空氣消耗：<56.6 SLPM（<2 SCFM）
材料：鋁
表面(mian)：硬涂層（62洛氏硬度(du)）
慣性卸載：3850 kg-mm2
總質量：4.8公斤
