產生力達600 N
保持力至800 N
行程20 mm
集成式直(zhi)接(jie)測量線性編碼器,分辨率為(wei)5 nm
使用增量線性編碼器進行高精度位置測量
非接(jie)(jie)觸式光(guang)學編碼器可以高精度(du)直接(jie)(jie)在平臺上測(ce)(ce)量(liang)位置。非線性,機(ji)械游(you)隙或彈(dan)性變(bian)形對測(ce)(ce)量(liang)沒有影響。
PiezoWalk行進驅動器具有納米級精度和高進給力
多個壓電(dian)執(zhi)行(xing)器在PiezoWalk行(xing)進驅動器中執(zhi)行(xing)行(xing)進運動,從(cong)而導(dao)致行(xing)進向前進給。致動器的控制允許(xu)更(geng)小的步進和(he)正(zheng)向進給運動,分辨(bian)率遠低(di)于1納米。
適用于復雜的真空應用
PI的(de)壓電電機可以(yi)設計用于真空環(huan)(huan)境,適合(he)在強(qiang)磁場中(zhong)運(yun)行。為此可以(yi)使用特殊版(ban)本的(de)驅動器(qi)。PiezoWalk驅動器(qi)還(huan)可用于無塵室或紫(zi)外(wai)線強(qiang)烈(lie)的(de)環(huan)(huan)境中(zhong)。
行程范圍(wei):20 mm
模擬(ni)模式下的行程范圍:±3 μm
集成傳感器:無
分辨率,開環(huan):0.03 nm
分辨率,閉環:-/ 5 nm(N-216.1A1)
速(su)度(10%占空比,全步模式):max.1.0 mm/s
速(su)度(100%占(zhan)空比,全步模式):max.0.6 mm/s
驅動力(li)(有(you)效):max.300 N
保(bao)持力(被動):min.400 N
馬達類型:NEXLINE
工(gong)作電壓:-250 V至+250 V
工作(zuo)溫度范圍:0至55°C
材質:鋁,不銹鋼
電纜長度(du):2.0 m
連接器:D-sub 25(m)
重量:1150 g