ELIONIX自1975年創立以(yi)來(lai)，一(yi)直(zhi)以(yi)制作(zuo)對科學技術進步做(zuo)出(chu)貢(gong)獻的(de)(de)(de)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置為(wei)目(mu)標(biao)，向(xiang)世(shi)界(jie)送出(chu)了(le)技術的(de)(de)(de)研究開(kai)(kai)(kai)(kai)發(fa)(fa)用(yong)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置。1997年，電(dian)(dian)子束描(miao)繪(hui)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置開(kai)(kai)(kai)(kai)發(fa)(fa)出(chu)了(le)能描(miao)繪(hui)當時高(gao)規格為(wei)1/5的(de)(de)(de)線(xian)寬10nm的(de)(de)(de)高(gao)精細電(dian)(dian)子束描(miao)繪(hui)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置，之后(hou)也(ye)(ye)相繼開(kai)(kai)(kai)(kai)發(fa)(fa)了(le)世(shi)界(jie)高(gao)性(xing)能的(de)(de)(de)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置。以(yi)兩個CS“挑戰與速度”“客戶滿意度”為(wei)基本(ben)(ben)理念，一(yi)直(zhi)在(zai)進行(xing)領(ling)頭于其他公(gong)司的(de)(de)(de)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置開(kai)(kai)(kai)(kai)發(fa)(fa)。研究開(kai)(kai)(kai)(kai)發(fa)(fa)用(yong)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置也(ye)(ye)被日本(ben)(ben)國(guo)內及(ji)世(shi)界(jie)的(de)(de)(de)大學·公(gong)共機關等導(dao)入，受到著高(gao)水平的(de)(de)(de)評(ping)價，不過(guo)，今后(hou)也(ye)(ye)致力于從研究開(kai)(kai)(kai)(kai)發(fa)(fa)面向(xiang)事業化(hua)的(de)(de)(de)生產用(yong)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置的(de)(de)(de)開(kai)(kai)(kai)(kai)發(fa)(fa)·銷售。我們(men)今后(hou)也(ye)(ye)將作(zuo)為(wei)世(shi)界(jie)各地的(de)(de)(de)各位解決課(ke)題的(de)(de)(de)合(he)作(zuo)伙(huo)伴，以(yi)提供高(gao)性(xing)能的(de)(de)(de)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)置、滿足世(shi)界(jie)品牌(pai)的(de)(de)(de)企業為(wei)目(mu)標(biao)。
ELIONIX主要產品(pin)：
電子束光刻系統(tong)、離子刻蝕機、電子線(xian)3D粗糙度分析儀、納(na)米壓痕儀
ELIONIX主要型號：
EIS-200ERP、ELS-BODEN、ELS-BODEN Σ、ELS-HAYATE、EIS-220P、EIS-1500、ERA-9200、ERA-nanoR、ERA-600SP、ERA-600H2、ERA-600Series
